A チラー一定の圧力、一定の温度、一定の流量を提供できる冷却水装置です。水タンクに適量の水を注入し、冷凍システムで冷却し、ポンプを使って冷却が必要な機器に冷却水を送ります。冷却水は機器内の熱を奪い冷却効果を発揮します。中間周波機器は高周波で大電流であるため、主に冷却水が追加されます。マグネトロンスパッタリングターゲットを使用すると、高温になりガンが変形してしまうため、ガンを冷却するためにウォータージャケットが必要です。マグネトロンスパッタリングはコーティング技術の最も優れた成果の一つと言えます。その利点は、優れた膜と基板の結合力、高いスパッタリング速度、低い基板温度上昇、および優れたデバイスの安定性です。チラーは独立した水循環システムと独立した冷凍システムを備えており、外部環境の影響を受けません。これらの機能を組み合わせることで、真空イオン コーティング プロセスに信頼性の高い温度制御と高品質のコーティング結果が提供されます。
真空イオンコーティング機のチラーの機能と特徴は次のとおりです。
1. ターゲットの冷却：真空イオンコーティング機のターゲットは金属イオンを生成するために使用されますが、コーティングプロセス中に多量の熱が発生します。チラーは循環冷却システムを通じてターゲットを急速に冷却し、ターゲットの通常の動作温度を維持し、装置の過熱による故障やコーティングの品質低下を防ぎ、安定したイオン出力を確保します。
2.スタビリティコントロール：チラー機器の温度を安定的に制御し、機器が通常の動作温度範囲内で安定して動作することを保証します。これにより、コーティングの一貫性と安定性が維持され、コーティング品質の一貫性と信頼性が向上します。
3. 高精度調整: チラーの動作パラメータは、冷却水の温度、流量、圧力などの特定の要件に応じて調整できます。これにより、チラーはさまざまなコーティング要件に応じて正確な温度制御を行うことができ、コーティングプロセスの安定性と高品質が保証されます。
3.省エネ：チラーの高効率な冷却能力と精密な制御機能により、エネルギー消費量を削減します。機器の温度を効果的に制御することで、追加のエネルギーの無駄を削減し、エネルギー利用効率を向上させることができます。
5.環境保護性能：真空イオンコーティング機にチラーを適用すると、環境への悪影響を軽減できます。冷却に循環水を使用することで水の使用量を削減し、運転時の騒音や振動も低減します。
6.環境制御：真空イオンコーティング機にチラーを適用すると、周囲の温度と湿度を制御して良好な作業環境を提供することもできます。適切な周囲温度と湿度により真空度が高まり、不純物やガスの影響が軽減され、コーティングの品質が向上します。
要約すると、チラー真空イオンコーティング機では、ターゲットの冷却、基板の冷却、冷却装置、環境制御などの多くの側面をカバーし、コーティングプロセス中の装置やワークピースの温度制御を確保し、コーティングの品質と生産性を向上させます。